在线形貌样品可自动地移动到在光学轮廓测量头下进行扫描，并生成3D图像。光学轮廓测量头专门为划痕试验进行了优化。测量头部可以测量陡峭的划痕斜率，透明涂层(玻璃等)，同时可测量粗糙度，磨损体积，失效方法等，具有亚纳米级分辨率。传感器设备提供多种多样的传感器，包括声发射传感器、电接触电阻传感器、电容位移传感器、恒电位仪等环境腔温度腔、湿度腔等
