设备用途 分子束外延主要研究的是不同结构或不同材料的晶体和超晶格的生长。该法生长温度低，能严格控制外延层的层厚组分和掺杂浓度。 设备组成 该系统主要由真空获得系统、外延生长系统（外延室）、快速进样系统（进样室）、高能电子衍射系统、电器控制系统、计算机控制系统等组成。
