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商品图
品牌
上海微行炉业
名称
上海微行炉业等离子增强化学气相沉积系统PECVD
技术参数
加热器技术参数，以下12行
型号
TF1200-80-SL-4Z-LV-PECVD
石英管尺寸
长：微行标配，Φ80内径70mm（高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受骤冷骤热）
加热元件
进口 掺钼铁铬铝合金电阻丝
测温元件
N型热电偶
加热区长度
微行标配
恒温区长度
微行标配
工作温度
≤1100℃
控温模式
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度
±1℃
升温速率
≤20℃/min
电功率
AC220V/50HZ/3KW
控制面板
10寸液晶触摸屏
技术参数
质量供气系统技术参数，以下11行
标准量程
微行标配
压力表测量范围
-0.1Mpa～0.15Mpa
极限压力
微行标配
阀门
针阀 316不锈钢
截止阀
Φ6mm 316不锈钢针阀
电功率
AC220V/50HZ/20W
响应时间
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
准确度
±1.5%
线性
±0.5～1.5%
重复精度
±0.2%
气路接口
Φ6,1/4''
技术参数
真空系统技术参数，以下8行
工作电电压
220V±10% 50~60HZ
抽气速率
微行标配
极限真空
微行标配
实验真空度
微行标配
容油量
1.1L
进气口口径
KF25
排气口口径
KF25
转速
1450rpm
技术参数
射频电源技术参数，以下10行
信号频率
微行标配
功率输出范围
300W或500W
最大反射功率
微行标配
射频输出接口
微行标配
功率稳定度
±0.1%
谐波分量
微行标配
供电电压
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷却方式
强制风冷
