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商品图
品牌
上海微行炉业
名称
上海微行炉业CVD
产品型号
TF1700-60-HV-4Z-T7
炉管尺寸
微行标配 （内径50mm）
加热区
微行标配
额定电压
AC220V 50/60Hz
额定功率
kw
炉体结构
双层壳体结构可使炉体表面增加降温速度
中控系统
温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、控制、自整定功能，并可编制30段升降温程序
控温精度
控温精度±1℃
显示模式
7寸触摸屏
工作温度
最高温度1700℃，连续工作温度≤1600℃
升温速度
推荐≤10℃/min，最快升温速度20℃/min
加热元件
1850型优质硅钼棒MoSi2左右两面加热，温场均匀，能耗低
炉膛材质
1900型优质氧化铝多晶体纤维保温性能好
炉管材质
高纯刚玉管，长期1650度使用
测温元件
热电偶，正上方测温
真空系统优点
效率高、无污染、低能耗、低噪音
极限真空度
微行标配
复合真空计
ZDF-5227 测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa
真空机组功率
1Kw
复合真空计
ZDF-5227 测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa
压升率
≤0.67Pa/h
技术参数
质量供气系统技术参数
标准量程
微行标配
压力表测量范围
-0.1Mpa～0.15Mpa
极限压力
微行标配
阀门
针阀 316不锈钢
截止阀
Φ6mm 316不锈钢针阀
电功率
AC220V/50HZ/20W
响应时间
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
准确度
±1.5%
线性
±0.5～1.5%
重复精度
±0.2%
气路接口
Φ6,1/4''
